在选择和选购无尘室吸尘器要考虑各种综合因素，并非所用的吸尘器都适合用于无尘室使用要求，具体的选择要素有以下几点：

  第一，真空工业吸尘器要高效过滤功能，如HEPA或ULPA过滤器。其中HEPA高效过滤器能够有效过滤掉0.3微米的微尘粒子，过滤效果达到99.97%；而ULPA超高效过滤器则可以有效过滤掉0.12微米的微尘粒子，效果达到99.999%。

  第二、HEPA高效过滤器要后置于马达，这样，吸尘器的马达运转产生的灰尘会被HEPA过滤掉，这样可以确保过滤效果可以适用到CLASS100的无尘室环境。一般HEPA(高效过滤器)是前置于马达的吸尘器，不能过滤马达运作产生的灰尘，因此不适合于无尘室环境中使用。

  第三、吸尘器要具备强排风功能，只能有一个进风口和一个出风口，要保证吸入的灰尘100%的经过HEPA或ULPA过滤，一般家用和普通型的工业吸尘器没有具备强排风，通常灰尘吸入后，可能会从不同的出风口泄露，造成二次污染，灰尘被重新飞扬起来，影响无尘室环境中产品的良率。

  第四、根据环境需要，选择是否具备干湿两用的工业吸尘器，一般来说，有液体的环境最好选择可干湿两用的无尘室吸尘器，没有液体的情况最好是选择干式的吸尘器。通常来说干式的无尘室吸尘器要比干湿两用型的吸尘除尘效果要好。